EUV Observatory · 002

EUV 光刻观察室

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EUV 光刻观察室

A study in light
万物解构 · 002 经典 0.33 NA EUV
13.5 nm / 0.33 NA / 4×
剖视观察 经典 EUV · 教学重建
极紫外光刻

EUV0.33

从一滴锡 到一片晶圆

1.00×细节倍率
实体特征 · 教学重建
驱动激光 不可见辐射 伪彩示意
拖动旋转 滚轮缩放 点选结构
大气侧进片 00.0 / 84.0 s
演示时间 · 空格播放 / 暂停
EUV Observatory

资料与精度说明

本项目依据公开资料原创重建 关注功能关系与工作流程 不是 ASML 官方模型 也不是可制造的光学或机械设计

模型中作出的简化

结构与来源对应

开源与实现

Anatomy · MIT / Three.js r169 · MIT / OrbitControls · MIT / Lucide icons · ISC

材质与细轮廓适配自既有机芯观察室 结构与动作在本项目中重新实现 无需联网即可运行
项目文档

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